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为中国“芯”锻造光学检测设备

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为中国“芯”锻造光学检测设备

2025-07-03 02:23:25

  2016年春天的一个深夜,中芯国际的测试车间灯火通明。黄有为和团队成员紧盯着屏幕上的数据曲线,当最后一项指标显示“合格”时,这位沉稳的工程师热泪盈眶——他们用八个月时间研发的国产首台纳米级无图形晶圆光学检测设备,终于通过客户验证。这一刻,中国芯片产业第一次拥有了自己的“火眼金睛”。

  2015年,不到10人的研发团队准备攻关晶圆检测设备时,摆在他们面前的残酷现实是:这项关键技术被美国厂商垄断,国内连最基础的研发经验都没有。

  团队选择了最艰苦的突破路径——7×24小时两班倒。光学组白天调试设备,算法组夜晚迭代代码,实验室的灯光从未熄灭。最艰难的时刻,团队卡在一个光学参数上整整四天无法突破。黄有为果断叫停工作,带领大家跳出技术细节,从系统层面重新分析,最终发现是结构力学因素影响了光学精度。正是这种“既专注细节又把握全局”的思维方式,让团队在八个月内完成了从零到一的突破。

  2018年,当团队准备研发新一代设备时,黄有为面临关键抉择:是按部就班跟随国外技术路线,还是冒险进行跨代研发?“如果不敢跨越,就永远只能追赶。”他最终选择了更具挑战性的后者。

  黄有为带领团队迎难而上:没有现成零部件就自己设计,工艺不达标就连夜改造生产线。一次次失败,一次次重来,一次次改进!最终,他们用了不到3年时间就迎头赶上,实现了从90纳米向14纳米工艺节点的跨越式发展。

  在黄有为看来,劳模精神的真谛不仅在于个人成就,更在于人才培养。他建立了一套独特的“实战培养”机制,让年轻人在重大项目中快速成长。

  赵康俊博士至今记得2021年那个关键突破。他刚加入时,团队正被1个纳米的精度超差死死卡住咽喉,挑战面前,这个年轻人与大家一起,像工匠打磨玉器般雕琢每个参数,经过上百次的试验迭代,终于突破10纳米精度。

  如今,中科飞测研发团队平均年龄34岁,90后占比过半。这支年轻队伍正在向更精密的3纳米检测技术发起挑战,续写着中国“芯”装备的新篇章。

  在中科飞测的净化车间里,新一代检测设备正进行最后调试。墙上“纳米级的精度需要慢工出细活的工匠精神”的标语格外醒目,这是团队十年如一日的坚守写照。黄有为站在年轻工程师们身后,目光扫过那些专注工作的身影——从最初的几个人的团队到如今百余人,从打破垄断到引领创新,这支队伍正在续写着中国“芯”装备的新篇章。

  把论文写在客户现场的数据里,把成果刻在国产芯片的晶圆上。返回搜狐,查看更多

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